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Fabbricazione di micro e nanodispositivi

<p>Prototipi di microaghi per il rilascio controllato di farmaci realizzati con tecniche litografiche</p>

Prototipi di microaghi per il rilascio controllato di farmaci realizzati con tecniche litografiche

La tecnica di Litografia profonda con raggi X, grazie alla forte capacità di penetrazione dei fasci luminosi, abbinata a metodi complementari di fabbricazione come la LIGA, permette di realizzare incisioni litografiche che possono raggiungere anche diversi millimetri di spessore e allo stesso tempo avere dettagli submicrometrici. Questa tecnica quindi consente di realizzare elementi meccanici, come piccoli ingranaggi per orologi, parti di micro-motori, micro attuatori, circuiti microfluidistici ed in generale tutti i micro e nanodispositivi che necessitino di modellazione in due dimensioni.


Il contributo di Elettra
Presso Elettra è operativa una linea di microfabbricazione con litografia profonda che ha permesso di realizzare i propulsori direzionali a gas compresso di un micro-satellite, utilizzato in una missione della Stazione spaziale internazionale. Sempre nel campo dell'industria spaziale, è stata realizzata una microturbina per il controllo di assetto di un satellite.
Combinando la litografia a raggi X con la litografia UV, è stato realizzato il prototipo di un sistema per il rilascio controllato di farmaci, ottenuto accoppiando una micropompa con un set di microaghi. Questo dispositivo potrebbe essere utilizzato per la cura di pazienti con malattie croniche come il diabete o per il decorso post-operatorio.
Sempre con tecniche di questo tipo, esponendo ai raggi X il materiale da modellare sotto diverse angolazioni, sono stati realizzati dispositivi optoelettronici chiamati cristalli fotonici, che si utilizzano come guide d'onda di grande efficienza per la radiazione luminosa.
La litografia a raggi X, se abbinata a tecniche come l'attacco chimico e la litografia di ioni, permette di realizzare dispositivi tridimensionali dalle forme più diverse.


Facility: Beamlines LILIT e DXRL
Bibliografia:
Micropatterned Dry Electrodes for Brain-Computer Interface; M. Matteucci, R. Carabalona, M. Casella, E. Di Fabrizio, F. Gramatica, M. Di Rienzo, E. Snidero, L. Gavioli and M. Sancrotti; Microelectronic Engineering; 84,p. 1737, 2007.